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一种排片机用气流除尘装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322582156.2
申请日：
2023-09-22
公开(公告)号：
CN221632514U
公开(公告)日：
2024-08-30
发明(设计)人：
王倩
王晓颖
申请人：
江苏惠达电子科技有限责任公司
申请人地址：
213300 江苏省常州市溧阳市竹箦镇竹韵路30号2#
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
B08B5/02
代理机构：
河北国维致远知识产权代理有限公司 13137
代理人：
魏红恩
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-08-30 | 授权 | 授权 |