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一种石英舟硅片转移装置
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410767986.9
申请日：
2024-06-14
公开(公告)号：
CN118692973A
公开(公告)日：
2024-09-24
发明(设计)人：
高刘
凡小康
黄文杰
申请人：
无锡江岚智能装备有限公司
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区长江东路208
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H01L21/677
代理机构：
无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227
代理人：
杨辰
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-09-24 | 公开 | 公开 |
| 2024-10-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20240614 |