异物检测方法及系统

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202410985094.6
申请日
2024-07-22
公开(公告)号
CN118758954A
公开(公告)日
2024-10-11
发明(设计)人
李超 余先勇 郜茂杰 黄豪俊
申请人
浙江创芯集成电路有限公司
申请人地址
311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号
IPC主分类号
G01N21/94
IPC分类号
代理机构
上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327
代理人
潘彦君
法律状态
实质审查的生效
国省代码
浙江省 杭州市
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共 50 条
[1]
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[10]
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