槽形状测定方法以及槽形状测定装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410364406.1

申请日：

2024-03-27

公开(公告)号：

CN118737866A

公开(公告)日：

2024-10-01

发明(设计)人：

岩城智清水翼

申请人：

株式会社东京精密

申请人地址：

日本国东京都

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

G01B11/24

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

王中苇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-01	公开	公开

共 50 条

[1]

形状测定系统、形状测定装置以及形状测定方法 [P].

宫田薰 .

中国专利 :CN107091617A ,2017-08-25

[2]

形状测定装置以及形状测定方法 [P].

石川修弘 ;

中川英幸 .

中国专利 :CN105588533B ,2016-05-18

[3]

形状测定装置以及形状测定方法 [P].

甘中将人 ;

田原和彦 ;

松冈英毅 ;

森冈哲隆 ;

纲木英俊 .

中国专利 :CN106716058A ,2017-05-24

[4]

形状测定装置以及形状测定方法 [P].

日比厚裕 ;

今野雄介 ;

古家顺弘 ;

黑岩朋广 .

中国专利 :CN107735646A ,2018-02-23

[5]

孔形状测定装置以及孔形状测定方法 [P].

中村干夫 ;

家永裕文 ;

藤田善仁 ;

冈本和男 .

中国专利 :CN104067086B ,2014-09-24

[6]

表面形状测定装置以及表面形状测定方法 [P].

槚枝成治 ;

山平尚史 ;

西名庆晃 .

日本专利 :CN120187999A ,2025-06-20

[7]

刀具形状测定装置以及刀具形状测定方法 [P].

川西亮辅 ;

堂前幸康 ;

渡边信太郎 ;

高桥宣行 .

中国专利 :CN105934310B ,2016-09-07

[8]

工具形状测定方法以及工具形状测定装置 [P].

山本英明 .

中国专利 :CN104870143B ,2015-08-26

[9]

表面形状测定装置以及表面形状测定方法 [P].

大野祥希 ;

林菜摘 ;

森井秀树 .

日本专利 :CN120063153A ,2025-05-30

[10]

形状测定装置及形状测定方法 [P].

高娜 ;

宫武勤 .

中国专利 :CN111702604A ,2020-09-25

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