基材表面缺陷检测装置及方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311582761.8
申请日
2023-11-24
公开(公告)号
CN118731024A
公开(公告)日
2024-10-01
发明(设计)人
史亚莉
申请人
中国科学院自动化研究所
申请人地址
100190 北京市海淀区中关村东路95号
IPC主分类号
G01N21/88
IPC分类号
G01N21/956 G01N21/01
代理机构
北京路浩知识产权代理有限公司 11002
代理人
吴斌
法律状态
实质审查的生效
国省代码
北京市
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共 50 条
[1]
基材缺陷检测装置 [P]. 
许轩兢 .
中国专利 :CN205861564U ,2017-01-04
[2]
用于检测基材的基材缺陷检测装置 [P]. 
许轩兢 .
中国专利 :CN204214788U ,2015-03-18
[3]
表面缺陷检测方法及表面缺陷检测装置 [P]. 
大野纮明 ;
儿玉俊文 ;
腰原敬弘 ;
小川晃弘 ;
饭塚幸理 .
中国专利 :CN105849534B ,2016-08-10
[4]
表面缺陷检测装置及表面缺陷检测方法 [P]. 
楯真沙美 ;
大野纮明 ;
大重贵彦 .
中国专利 :CN107709977B ,2018-02-16
[5]
表面缺陷检测装置及表面缺陷检测设备 [P]. 
孙立 ;
沈红佳 ;
连泽钦 .
中国专利 :CN217277922U ,2022-08-23
[6]
表面缺陷检测装置及方法 [P]. 
舒远 ;
李玉廷 ;
王光能 ;
文茜 ;
米野 ;
丁兵 ;
高云峰 .
中国专利 :CN104101601A ,2014-10-15
[7]
表面缺陷检测方法以及表面缺陷检测装置 [P]. 
梅垣嘉之 ;
大野纮明 .
日本专利 :CN119895252A ,2025-04-25
[8]
表面缺陷检测方法和表面缺陷检测装置 [P]. 
雷富强 ;
马刘文 ;
关鹏 ;
张巍 ;
任海英 ;
李燃 ;
杨朝晖 ;
张富超 .
中国专利 :CN120655644A ,2025-09-16
[9]
用于检测可透光基材的基材缺陷检测装置 [P]. 
许轩兢 .
中国专利 :CN204287068U ,2015-04-22
[10]
一种表面缺陷检测装置及表面缺陷检测方法 [P]. 
朱文兵 ;
罗时帅 ;
钱曙光 ;
汪炉生 ;
柳洪哲 ;
柳云鸿 ;
钱根 ;
陶磊 .
中国专利 :CN114813760A ,2022-07-29