晶圆的载板及晶圆解键设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202420053015.3
申请日
2024-01-09
公开(公告)号
CN221613852U
公开(公告)日
2024-08-27
发明(设计)人
曾建能 杜海朝
申请人
东莞立腾创新电子有限公司
申请人地址
523427 广东省东莞市寮步镇寮步松柏路310号7栋301室
IPC主分类号
H01L21/673
IPC分类号
H01L21/687 H01L21/67
代理机构
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205
代理人
陈均钦
法律状态
授权
国省代码
广东省 东莞市
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共 50 条
[1]
晶圆解键合设备 [P]. 
任凯 ;
何雅彬 .
中国专利 :CN218101189U ,2022-12-20
[2]
晶圆载具及晶圆涂胶设备 [P]. 
雷艳 ;
倪维涛 ;
毕秀文 ;
袁六婕 ;
闫跃江 .
中国专利 :CN220420546U ,2024-01-30
[3]
对准装置、晶圆键合设备及晶圆键合测试设备 [P]. 
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN222637261U ,2025-03-18
[4]
晶圆解键合机 [P]. 
邱新智 .
中国专利 :CN213071075U ,2021-04-27
[5]
晶圆解键合装置 [P]. 
尹明 ;
唐昊 .
中国专利 :CN204696090U ,2015-10-07
[6]
键合晶圆、器件晶圆及键合结构 [P]. 
郑超 ;
刘炼 ;
王伟 .
中国专利 :CN204079474U ,2015-01-07
[7]
晶圆载盘及晶圆承载装置 [P]. 
何正鸿 ;
李利 ;
李永帅 ;
张成 .
中国专利 :CN222927443U ,2025-05-30
[8]
晶圆键合设备 [P]. 
霍进迁 ;
龚燕飞 .
中国专利 :CN214313133U ,2021-09-28
[9]
晶圆键合设备 [P]. 
赵志远 ;
袁绅豪 ;
刘武 ;
刘淼 ;
锁志勇 .
中国专利 :CN216054588U ,2022-03-15
[10]
消除晶圆翘曲的晶圆键合设备 [P]. 
霍进迁 ;
龚燕飞 .
中国专利 :CN213691966U ,2021-07-13