一种光刻胶生产用烘干装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420480621.3

申请日：

2024-03-13

公开(公告)号：

CN221811878U

公开(公告)日：

2024-10-08

发明(设计)人：

林高弘

申请人：

苏州明扬半导体材料有限公司

申请人地址：

215200 江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道东侧

IPC主分类号：

G03F7/16

IPC分类号：

代理机构：

深圳创智果专利代理事务所(普通合伙) 33278

代理人：

李云如

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-08	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻胶生产用烘干装置 [P].

王鸿岩 ;

孙浩 .

中国专利 :CN210980717U ,2020-07-10

[2]

一种光刻胶生产用快速烘干装置 [P].

罗岳峰 .

中国专利 :CN218443225U ,2023-02-03

[3]

一种光刻胶生产用烘干装置 [P].

周丰 .

中国专利 :CN222824736U ,2025-05-02

[4]

光刻胶烘干装置 [P].

袁元 ;

袁文旭 ;

程潇 .

中国专利 :CN210573184U ,2020-05-19

[5]

一种光刻胶生产用烘干装置 [P].

宋慧洁 ;

赖桢岚 ;

张同锦 .

中国专利 :CN221301891U ,2024-07-09

[6]

一种光刻胶软烘干装置 [P].

范传新 ;

王晓伟 .

中国专利 :CN213023934U ,2021-04-20

[7]

一种电沉积光刻胶烘干装置 [P].

陈友志 ;

王振华 ;

蓝星 ;

梁松颖 .

中国专利 :CN221200238U ,2024-06-21

[8]

一种光刻胶生产用搅拌装置 [P].

黎厚明 ;

欧阳斌 .

中国专利 :CN217795601U ,2022-11-15

[9]

一种光刻胶生产用冷却装置 [P].

王志祥 .

中国专利 :CN218033991U ,2022-12-13

[10]

一种光刻胶生产用搅拌装置 [P].

孙浩 ;

王鸿岩 .

中国专利 :CN212017485U ,2020-11-27

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