柔性硅基压力传感器及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211693507.0

申请日：

2022-12-28

公开(公告)号：

CN118258530A

公开(公告)日：

2024-06-28

发明(设计)人：

冯雪杜琦峰陈颖

申请人：

浙江清华柔性电子技术研究院清华大学

申请人地址：

314051 浙江省嘉兴市南湖区浙江清华长三角研究院B座15层

IPC主分类号：

G01L1/22

IPC分类号：

G01L19/14

代理机构：

杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250

代理人：

安威威

法律状态：

公开

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-06-28	公开	公开
2024-07-16	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01L 1/22申请日:20221228

共 50 条

[1]

柔性硅基压力传感器及其制造方法 [P].

冯雪 ;

杜琦峰 ;

陈颖 .

中国专利 :CN118258528A ,2024-06-28

[2]

硅基压力传感器及其制造方法 [P].

李颖 ;

张治国 ;

刘剑 ;

张哲 ;

郑东明 ;

梁峭 ;

张娜 ;

祝永峰 ;

于子涵 .

中国专利 :CN105181187A ,2015-12-23

[3]

阵列式压力传感器及其制造方法 [P].

冯雪 ;

杜琦峰 ;

陈颖 .

中国专利 :CN118258531A ,2024-06-28

[4]

柔性压力传感器及其制造方法及柔性压力传感阵列 [P].

陶肖明 ;

朱波 ;

王飞 ;

李名剑 ;

舒琳 ;

李莹 .

中国专利 :CN105841851A ,2016-08-10

[5]

柔性压力传感器及其制造方法 [P].

林建毅 ;

黄稀荻 .

中国专利 :CN120907700A ,2025-11-07

[6]

柔性压力传感器阵列及其制造方法 [P].

傅丽 ;

徐涛 ;

庄鑫 .

中国专利 :CN113739961A ,2021-12-03

[7]

柔性压力传感器及其制备方法 [P].

向亮 ;

唐俐 ;

陈明 ;

王小龙 ;

聂飞 ;

盛俊杰 ;

胡海涛 ;

候玉欣 ;

张远奥 .

中国专利 :CN114459640A ,2022-05-10

[8]

柔性压力传感器制备方法及柔性压力传感器 [P].

肖瑶 ;

张浩然 ;

贺裕龙 ;

李秋凡 ;

孙萍 ;

李贺 .

中国专利 :CN117367629A ,2024-01-09

[9]

MEMS压力传感器及其制造方法 [P].

谢勇 .

中国专利 :CN105181217A ,2015-12-23

[10]

平面型硅压力传感器及其制造方法 [P].

程晓华 ;

方精训 ;

彭仕敏 ;

金峰 ;

刘远良 ;

邓镭 .

中国专利 :CN102338681A ,2012-02-01

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