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扩散炉管及扩散炉
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202323117900.8
申请日：
2023-11-16
公开(公告)号：
CN221254782U
公开(公告)日：
2024-07-02
发明(设计)人：
黄建育
申请人：
成都紫光半导体科技有限公司
申请人地址：
611730 四川省成都市成都高新区尚雅路7号附1号1楼
IPC主分类号：
C30B31/10
IPC分类号：
H01L21/67
C30B33/00
C30B33/02
B22F3/10
代理机构：
北京英创嘉友知识产权代理事务所(普通合伙) 11447
代理人：
郭长海
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-07-02 | 授权 | 授权 |