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用于位置量测的量测传感器

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410412704.3
申请日：
2019-08-27
公开(公告)号：
CN118330995A
公开(公告)日：
2024-07-12
发明(设计)人：
塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩 S·R·胡伊斯曼 S·G·J·马西森 H·P·M·派勒曼斯
申请人：
ASML荷兰有限公司
申请人地址：
荷兰维德霍温
IPC主分类号：
G03F7/20
IPC分类号：
G02B21/00 G02B27/48
代理机构：
中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人：
张澜
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-07-12 公开 公开
2024-07-30 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20190827
共 50 条
[1]
用于位置量测的量测传感器 [P]. 
塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩 ;
S·R·胡伊斯曼 ;
S·G·J·马西森 ;
H·P·M·派勒曼斯 .
:CN112740109B ,2024-04-30
[2]
用于位置量测的量测传感器 [P]. 
塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩 ;
S·R·胡伊斯曼 ;
S·G·J·马西森 ;
H·P·M·派勒曼斯 .
中国专利 :CN112740109A ,2021-04-30
[3]
传感器电子量测装置 [P]. 
汪琼 .
中国专利 :CN2771857Y ,2006-04-12
[4]
传感器模块、照射器、量测设备和相关联量测方法 [P]. 
T·T·M·范沙伊科 ;
R·D·别杰斯 ;
A·J·登博夫 ;
J·M·M·德维特 ;
T·W·图克 .
:CN119404148A ,2025-02-07
[5]
量测装置、量测补偿系统、量测方法及量测补偿方法 [P]. 
李想 .
中国专利 :CN115597510A ,2023-01-13
[6]
主动式水位量测传感器 [P]. 
许景辉 ;
马孝义 ;
王志刚 ;
甘学涛 .
中国专利 :CN101221061A ,2008-07-16
[7]
波前传感器及相关量测装置 [P]. 
S·T·范德波斯特 ;
P·D·范福尔斯特 .
中国专利 :CN113348412A ,2021-09-03
[8]
波前传感器及相关量测装置 [P]. 
S·T·范德波斯特 ;
P·D·范福尔斯特 .
:CN113348412B ,2024-05-31
[9]
基于手机传感器的日照量测方法 [P]. 
林冰仙 ;
姚奕杰 ;
周良辰 ;
闾国年 .
中国专利 :CN109668629B ,2019-04-23
[10]
量测装置及应用该量测装置的量测方法 [P]. 
翁偟铭 .
中国专利 :CN101028692B ,2007-09-05
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