大尺寸单晶六方氮化硼的外延生长方法及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410449824.0

申请日：

2024-04-15

公开(公告)号：

CN118028974B

公开(公告)日：

2024-06-25

发明(设计)人：

王亮徐俞王钰宁徐科

申请人：

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

申请人地址：

215123 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号

IPC主分类号：

C30B25/18

IPC分类号：

C30B29/40 H01L21/02

代理机构：

南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256

代理人：

李志

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-05-31	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 25/18申请日:20240415
2024-06-25	授权	授权
2024-05-14	公开	公开

共 50 条

[1]

大尺寸单晶六方氮化硼的外延生长方法及其应用 [P].

王亮 ;

徐俞 ;

王钰宁 ;

徐科 .

中国专利 :CN118028974A ,2024-05-14

[2]

大尺寸六方氮化硼的制备方法以及大尺寸六方氮化硼 [P].

田兆波 ;

李昊楠 ;

曾航 .

中国专利 :CN115490523A ,2022-12-20

[3]

一种六方氮化硼单晶生长方法 [P].

张相法 ;

王大鹏 ;

位星 ;

王永凯 ;

刘红伟 ;

薛磊 .

中国专利 :CN113818072A ,2021-12-21

[4]

一种厘米尺寸六方氮化硼单晶的生长方法 [P].

万能 ;

张思源 ;

田明 ;

陈若望 ;

施辉 ;

王明渊 .

中国专利 :CN113417002B ,2021-09-21

[5]

一种提升六方氮化硼材料质量的外延生长方法 [P].

李传皓 ;

李忠辉 ;

彭大青 .

中国专利 :CN114005730A ,2022-02-01

[6]

大尺寸可剥离六方氮化硼的制备方法及其剥离方法 [P].

魏同波 ;

多亦威 ;

羊建坤 ;

王军喜 .

中国专利 :CN119852163A ,2025-04-18

[7]

一种六方氮化硼薄膜生长方法及六方氮化硼薄膜 [P].

孙晓娟 ;

隋佳恩 ;

贾玉萍 ;

张山丽 ;

蒋科 ;

石芝铭 .

中国专利 :CN112086343A ,2020-12-15

[8]

一种大尺寸六方氮化硼单晶的制备方法 [P].

万能 ;

张思源 ;

赵小康 ;

徐康 ;

邵志勇 .

中国专利 :CN109695053A ,2019-04-30

[9]

基于六方氮化硼大尺寸单晶的深紫外光电探测器及其制备方法 [P].

高伟 ;

邰家劲 ;

殷红 .

中国专利 :CN116154039B ,2025-03-07

[10]

六方氮化硼辅助氮化镓外延的衬底结构及其制备方法 [P].

宁静 ;

武海迪 ;

张进成 ;

赵江林 ;

白玲 ;

王东 ;

马佩军 ;

郝跃 .

中国专利 :CN114635186A ,2022-06-17

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