搬运装置以及硅片加工设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323196084.4

申请日：

2023-11-23

公开(公告)号：

CN221613854U

公开(公告)日：

2024-08-27

发明(设计)人：

曾鸣周宇超何颖波毛俊波张日明谭淼

申请人：

海目星激光科技集团股份有限公司

申请人地址：

518110 广东省深圳市龙华区观湖街道鹭湖社区观盛五路科姆龙科技园B栋301(一照多址企业)

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/68 H01L21/67

代理机构：

广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205

代理人：

李峥嵘

法律状态：

授权

国省代码：

广东省深圳市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-27	授权	授权

共 50 条

[1]

搬运装置以及硅片加工设备 [P].

肖飒 ;

周宇超 ;

何颖波 ;

毛俊波 ;

张日明 ;

曾鸣 .

中国专利 :CN221727079U ,2024-09-17

[2]

用于硅片加工设备的晶托搬运装置 [P].

苏兰虎 ;

杨风桐 .

中国专利 :CN202805444U ,2013-03-20

[3]

硅片输送系统以及硅片加工设备 [P].

张日明 ;

周宇超 ;

何颖波 ;

毛俊波 ;

曾鸣 .

中国专利 :CN221727078U ,2024-09-17

[4]

旋转搬运机构及硅片加工设备 [P].

钟志安 ;

林博辉 ;

汤辉 ;

占传福 .

中国专利 :CN222749460U ,2025-04-11

[5]

硅片载具定位装置以及加工设备 [P].

周欢 ;

于涛 ;

董雪迪 ;

张武 .

中国专利 :CN222106655U ,2024-12-03

[6]

舟结构、硅片搬运机构以及加工装置 [P].

何瑜浩 ;

朱太荣 ;

张武 .

中国专利 :CN221057380U ,2024-05-31

[7]

硅片输送系统、硅片加工设备以及硅片加工方法 [P].

张日明 ;

周宇超 ;

何颖波 ;

毛俊波 ;

曾鸣 .

中国专利 :CN117672934A ,2024-03-08

[8]

搬运装置及加工设备 [P].

陈建峰 ;

徐辉 ;

周旭飞 ;

杨朝辉 .

中国专利 :CN217147736U ,2022-08-09

[9]

搬运装置及加工设备 [P].

刘翔 .

中国专利 :CN213536419U ,2021-06-25

[10]

一种硅片吸附装置以及一种硅片加工设备 [P].

沈晓泱 ;

陈刚 .

中国专利 :CN215451372U ,2022-01-07

← 1 2 3 4 5 →