一种晶圆搬运机械手臂

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810615286.2

申请日：

2018-06-14

公开(公告)号：

CN108555936B

公开(公告)日：

2024-09-06

发明(设计)人：

金浩天张怀宣任行军李今玉

申请人：

上海众鸿电子科技有限公司

申请人地址：

201315 上海市浦东新区沈梅路600号4幢1楼

IPC主分类号：

B25J11/00

IPC分类号：

B25J18/00

代理机构：

上海硕力知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31251

代理人：

郭桂峰

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-09-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆搬运机械手臂 [P].

金浩天 ;

张怀宣 ;

任行军 ;

李今玉 .

中国专利 :CN108555936A ,2018-09-21

[2]

一种晶圆搬运机械手臂 [P].

金浩天 ;

张怀宣 ;

任行军 ;

李今玉 .

中国专利 :CN208529106U ,2019-02-22

[3]

一种晶圆搬运机械手臂 [P].

张宝宝 ;

刘超 ;

金炫宇 .

中国专利 :CN223160935U ,2025-07-29

[4]

一种多功能晶圆搬运机械手臂 [P].

陈海需 .

中国专利 :CN120914160A ,2025-11-07

[5]

一种多功能晶圆搬运机械手臂 [P].

陈海需 .

中国专利 :CN120914160B ,2025-12-16

[6]

晶圆对准方法及其搬运机械手臂 [P].

黄磊 ;

姚政鹏 .

中国专利 :CN118263182A ,2024-06-28

[7]

一种搬运机械手臂装置 [P].

熊士栋 ;

谢祥洲 .

中国专利 :CN210361287U ,2020-04-21

[8]

搬运机械手臂 [P].

吴永新 ;

鲍兴来 ;

许映祥 .

中国专利 :CN203185347U ,2013-09-11

[9]

一种搬运机械手臂 [P].

安博通 .

中国专利 :CN212706761U ,2021-03-16

[10]

一种用于搬运晶圆的机械手臂 [P].

黄奕豪 ;

王金池 ;

下野智成 .

中国专利 :CN218385170U ,2023-01-24

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