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一种基片快速转移夹具
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202322653345.4
申请日：
2023-09-28
公开(公告)号：
CN221466543U
公开(公告)日：
2024-08-02
发明(设计)人：
杨志
孙森
申请人：
江苏信核芯微电子有限公司
申请人地址：
214000 江苏省无锡市新吴区无锡中关村软件园11号楼201-23
IPC主分类号：
H01L21/677
IPC分类号：
H01L21/687
代理机构：
无锡苏元专利代理事务所(普通合伙) 32471
代理人：
张剑锋
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省
无锡市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-08-02 | 授权 | 授权 |