电子显微镜、用于电子显微镜的电子源、和操作电子显微镜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202280083655.2

申请日：

2022-10-13

公开(公告)号：

CN118414683A

公开(公告)日：

2024-07-30

发明(设计)人：

P·阿达麦茨

申请人：

ICT半导体集成电路测试有限公司

申请人地址：

德国海姆斯特滕

IPC主分类号：

H01J1/304

IPC分类号：

H01J37/07 H01J37/073 H01J3/02

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

侯颖媖;张鑫

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-16	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01J 1/304申请日:20221013
2024-07-30	公开	公开

共 50 条

[1]

电子显微镜 [P].

长冲功 ;

田村圭司 ;

野寺康行 .

中国专利 :CN111919277A ,2020-11-10

[2]

电子显微镜 [P].

大西崇 .

中国专利 :CN109690725B ,2019-04-26

[3]

电子显微镜 [P].

松本弘昭 ;

佐藤岳志 ;

谷口佳史 ;

原田研 .

中国专利 :CN105531793B ,2016-04-27

[4]

电子显微镜 [P].

能田弘行 ;

大沼满 ;

小町章 ;

笹川清 ;

根本昌弘 .

中国专利 :CN301426644S ,2010-12-29

[5]

电子显微镜 [P].

能田弘行 ;

大沼满 ;

小町章 ;

根本昌弘 ;

笹川清 .

中国专利 :CN301452300S ,2011-01-26

[6]

电子显微镜 [P].

大沼满 ;

中村邦康 ;

斋藤浩一郎 ;

桥本隆仁 ;

稻田博实 .

中国专利 :CN300684585D ,2007-08-29

[7]

电子显微镜 [P].

大岛卓 ;

峰邑浩行 ;

安斋由美子 ;

圆山百代 ;

小濑洋一 ;

扬村寿英 .

中国专利 :CN108885961B ,2018-11-23

[8]

电子显微镜 [P].

燕泽美 .

中国专利 :CN302820603S ,2014-05-14

[9]

电子显微镜 [P].

大沼满 ;

小町章 ;

安岛雅彦 ;

大泷智久 .

中国专利 :CN301357025S ,2010-09-29

[10]

电子显微镜 [P].

奥山清行 ;

石仓礼一 ;

所司宪和 .

中国专利 :CN302362010S ,2013-03-20

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