光刻机硅片台移动装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011169808.4

申请日：

2020-10-28

公开(公告)号：

CN112180693B

公开(公告)日：

2024-08-27

发明(设计)人：

钟敏

申请人：

上海图双精密装备有限公司

申请人地址：

200000 上海市青浦区久远路157号1幢1层东侧

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

北京环泰睿辰专利代理有限公司 37322

代理人：

吴亚东

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-27	授权	授权

共 50 条

[1]

光刻机硅片台移动装置 [P].

钟敏 .

中国专利 :CN112180693A ,2021-01-05

[2]

光刻机硅片台移动装置 [P].

张俊杰 .

中国专利 :CN213780634U ,2021-07-23

[3]

光刻机硅片台移动装置及采用该移动装置的光刻机 [P].

秦磊 ;

刘育 ;

王天明 ;

袁志扬 .

中国专利 :CN101609263A ,2009-12-23

[4]

光刻机硅片台驱动装置 [P].

刘育 .

中国专利 :CN102830591B ,2012-12-19

[5]

掩模版移动装置、光刻机及光刻方法 [P].

丁功明 .

中国专利 :CN110147032A ,2019-08-20

[6]

一种光刻机硅片台移动机构 [P].

薛业保 ;

章广飞 ;

王运钢 ;

李文静 .

中国专利 :CN119511649B ,2025-05-20

[7]

一种光刻机硅片台移动机构 [P].

薛业保 ;

章广飞 ;

王运钢 ;

李文静 .

中国专利 :CN119511649A ,2025-02-25

[8]

一种光刻机硅片台线缆台 [P].

朱煜 ;

陈亚英 ;

张鸣 ;

徐登峰 ;

汪劲松 .

中国专利 :CN102200698B ,2011-09-28

[9]

光刻机硅片台双台交换系统 [P].

朱煜 ;

陈亚英 ;

张鸣 ;

徐登峰 ;

汪劲松 .

中国专利 :CN102141739A ,2011-08-03

[10]

多掩模的光刻机硅片台系统 [P].

朱煜 ;

张鸣 ;

汪劲松 ;

田丽 ;

徐登峰 ;

尹文生 ;

段广洪 ;

胡金春 ;

许岩 .

中国专利 :CN201527541U ,2010-07-14

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