一种流体输送系统及流体输送方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202310121973.X
申请日
2023-02-06
公开(公告)号
CN118499686A
公开(公告)日
2024-08-16
发明(设计)人
李想 胡玉龙
申请人
长鑫存储技术有限公司
申请人地址
230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
IPC主分类号
F17D1/02
IPC分类号
F17D3/01 F17D5/00 F17D5/02 F16L53/32 H01L21/67
代理机构
代理人
法律状态
公开
国省代码
安徽省 宣城市
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共 50 条
[1]
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