共 50 条
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被加工物の加工方法および加工装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20230066957
申请日：
2023-04-17
公开(公告)号：
JP2024153198A
公开(公告)日：
2024-10-29
发明(设计)人：
HIROSE TSUBASA
MORIKAZU YOJI
申请人：
DISCO ABRASIVE SYSTEMS LTD
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/301
IPC分类号：
B23K26/00
B23K26/364
H01L21/66
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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