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アルミニウム化合物及びこれを使用したアルミニウム含有膜の形成方法[ja]

被引：0
申请号：
JP20210504758
申请日：
2019-07-30
公开(公告)号：
JP7401928B2
公开(公告)日：
2023-12-20
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C07F5/06
IPC分类号：
C23C16/18 H01L21/318
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
共 50 条
[1]
アルミニウム化合物及びこれを使用したアルミニウム含有膜の形成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2021533104A ,2021-12-02
[2]
酸化アルミニウム膜の製造方法、酸化アルミニウム膜の製造原料、及びアルミニウム化合物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2017030150A1 ,2018-05-31
[3]
アルミニウム膜形成方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2012050058A1 ,2014-02-24
[4]
トリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物及び当該アルミニウム化合物を用いるアルミニウム含有薄膜の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP6065840B2 ,2017-01-25
[5]
トリス（ジアルキルアミド）アルミニウム化合物及び当該アルミニウム化合物を用いるアルミニウム含有薄膜の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2013065806A1 ,2015-04-02
[6]
トリアルキルアルミニウム化合物及びトリアルキルアルミニウムの製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2023554569A ,2023-12-28
[7]
有機アルミニウム化合物[ja] [P]. 
日本专利 :JP5648240B2 ,2015-01-07
[8]
アルミニウムまたはアルミニウム合金の表面処理方法[ja] [P]. 
NAGAI TATSUO ;
NAKAMURA KENTARO ;
MIYAMOTO KENJI ;
NAGAE TAKAHARU .
日本专利 :JP2024122142A ,2024-09-09
[9]
ＡＬＤ薄膜形成用アルミニウム化合物[ja] [P]. 
日本专利 :JP7017328B2 ,2022-02-08
[10]
アルミニウムまたはアルミニウム合金の表面処理方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7352322B1 ,2023-09-28
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