共 50 条
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研磨ヘッドシステムおよび研磨装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20200006393
申请日：
2020-01-17
公开(公告)号：
JP7517832B2
公开(公告)日：
2024-07-17
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
B24B37/30
IPC分类号：
B24B37/005
B24B37/32
B24B49/10
B24B49/12
H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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