基材物品および装置の特性および性能を増強するためのコーティング[ja]

被引:0
申请号
JP20240110796
申请日
2024-07-10
公开(公告)号
JP2024147635A
公开(公告)日
2024-10-16
发明(设计)人
BRYAN C HENDRIX DAVID W PETERS LI WEIMIN CARLO WALDFRIED RICHARD A COOKE NILESH GUNDA LIN I-KUAN
申请人
ENTEGRIS INC
申请人地址
IPC主分类号
C23C16/40
IPC分类号
C23C16/455 H01L21/205 H01L21/3065 H01L21/31
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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