ウェーハの製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20230218899
申请日
2023-12-26
公开(公告)号
JP2024114610A
公开(公告)日
2024-08-23
发明(设计)人
NOMOTO TOMOTERU
申请人
DISCO ABRASIVE SYSTEMS LTD
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/304
IPC分类号
B23K26/53
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
ウェーハの製造方法[ja] [P]. 
MORI KAZUKI .
日本专利 :JP2024171862A ,2024-12-12
[2]
ウェーハの製造方法[ja] [P]. 
SUDO YUJIRO ;
IGA YUTO .
日本专利 :JP2025043047A ,2025-03-28
[3]
[5]
フロートゾーンシリコンウェーハ製造システム[ja] [P]. 
日本专利 :JP2017508706A ,2017-03-30
[6]
レーザ加工装置、被加工物の面取り方法及びウエーハの製造方法[ja] [P]. 
IIZUKA KENTARO .
日本专利 :JP2025021913A ,2025-02-14
[8]
β酸化ガリウム基板の製造方法[ja] [P]. 
SETO YUYA .
日本专利 :JP2025016840A ,2025-02-05
[9]
ショウガ加工物の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP5969096B1 ,2016-08-10
[10]
ショウガ加工物の製造方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP7453656B2 ,2024-03-21