基材処理方法[ja]

被引:0
申请号
JP20230091783
申请日
2023-06-02
公开(公告)号
JP2023179377A
公开(公告)日
2023-12-19
发明(设计)人
LEE SEUNG HYUNG
申请人
ASM IP HOLDING BV
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/318
IPC分类号
C23C16/42
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
被処理板状基材[ja] [P]. 
日本专利 :JP2015511651A ,2015-04-20
[2]
金属基材を処理する方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2016528383A ,2016-09-15
[3]
画像処理装置及び画像処理方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2014042155A1 ,2016-08-18
[4]
基板処理方法および基板処理装置[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2007077718A1 ,2009-06-11
[5]
画像処理方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018139237A1 ,2019-07-04
[6]
画像処理方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2006106919A1 ,2008-09-11
[7]
排水処理方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025162018A ,2025-10-27
[8]
基板処理方法[ja] [P]. 
KWON BONG-SOO ;
KIM DO-HYUN ;
PARK YU-RI ;
KIM SE-CHAN .
日本专利 :JP2024035837A ,2024-03-14
[9]
真空処理方法[ja] [P]. 
日本专利 :JP2023015220A ,2023-01-31
[10]
画像処理装置と画像処理方法[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2017081925A1 ,2018-08-23