キレート剤を含む酸化物系基板の研磨用組成物[ja]

被引:0
申请号
JP20220066245
申请日
2022-04-13
公开(公告)号
JP2023156721A
公开(公告)日
2023-10-25
发明(设计)人
OMORI HISASHI IWAMI EIICHIRO OKUNAGA TOMOKI
申请人
NISSAN CHEMICAL CORP
申请人地址
IPC主分类号
C09K3/14
IPC分类号
C09G1/02
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
[2]
研磨用組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JP6099067B1 ,2017-03-22
[3]
酸化防止剤を含む溶媒組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JP2023523154A ,2023-06-02
[4]
酸化防止剤を含む溶媒組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JP2024506280A ,2024-02-13
[7]
研磨用組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2016208301A1 ,2018-04-12
[8]
研磨用組成物[ja] [P]. 
NAKAGAI YUICHIRO .
日本专利 :JP2024016448A ,2024-02-07
[9]
研磨用組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025150569A ,2025-10-09
[10]
研磨用組成物[ja] [P]. 
日本专利 :JPWO2018147148A1 ,2019-11-21