共 50 条
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試料保持具[ja]
被引：0
申请号：
JP20220185861
申请日：
2022-11-21
公开(公告)号：
JP2024074594A
公开(公告)日：
2024-05-31
发明(设计)人：
NAGANO YOSHINORI
申请人：
KYOCERA CORP
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/683
IPC分类号：
H05B3/20
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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