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腐食性薬液回収システム及び腐食性薬液回収システム用蓋体[ja]
被引：0
申请号：
JP20220196571
申请日：
2022-12-08
公开(公告)号：
JP2024082608A
公开(公告)日：
2024-06-20
发明(设计)人：
OGASAWARA SHUNICHI
SAMPEI ICHIRO
申请人：
MIMASU SEMICONDUCTOR IND CO LTD
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/306
IPC分类号：
H01L21/304
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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