一种太赫兹穆勒矩阵椭偏仪以及对薄膜样品的测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411183820.9

申请日：

2024-08-27

公开(公告)号：

CN119086459A

公开(公告)日：

2024-12-06

发明(设计)人：

杨浩明王可嘉

申请人：

华中科技大学

申请人地址：

430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号

IPC主分类号：

G01N21/21

IPC分类号：

G01N21/01 G01B11/06

代理机构：

华中科技大学专利中心 42201

代理人：

李晓飞

法律状态：

授权

国省代码：

湖北省武汉市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-19	授权	授权
2024-12-06	公开	公开
2024-12-24	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/21申请日:20240827

共 50 条

[1]

一种太赫兹穆勒矩阵椭偏仪以及对薄膜样品的测量方法 [P].

杨浩明 ;

王可嘉 .

中国专利 :CN119086459B ,2025-12-19

[2]

一种傅里叶变换红外穆勒矩阵椭偏仪及其测量方法 [P].

张传维 ;

刘柠林 ;

郭春付 ;

李伟奇 ;

刘世元 .

中国专利 :CN109580551A ,2019-04-05

[3]

一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法 [P].

刘世元 ;

李伟奇 ;

张传维 ;

陈修国 .

中国专利 :CN103134592A ,2013-06-05

[4]

一种双涡旋波片穆勒矩阵椭偏仪及其测量方法 [P].

雷兵 ;

高超 ;

王富杰 ;

文雪可 .

中国专利 :CN115060658A ,2022-09-16

[5]

一种利用全穆勒矩阵椭偏仪进行光学测量的方法 [P].

崔高增 ;

刘涛 ;

李国光 ;

温朗枫 ;

熊伟 .

中国专利 :CN104677833A ,2015-06-03

[6]

一种光弹型高速穆勒矩阵椭偏仪及其原位校准与测量方法 [P].

江浩 ;

张松 ;

刘世元 ;

刘佳敏 ;

谷洪刚 .

中国专利 :CN111413282A ,2020-07-14

[7]

一种自校准的全穆勒矩阵椭偏仪测量系统 [P].

崔高增 ;

刘涛 ;

李国光 ;

温朗枫 ;

熊伟 .

中国专利 :CN104677838A ,2015-06-03

[8]

基于双旋转补偿器型穆勒矩阵椭偏仪的残余应力测量方法 [P].

崔长彩 ;

余家华 ;

陆静 ;

胡中伟 ;

黄辉 ;

徐西鹏 .

中国专利 :CN109764993A ,2019-05-17

[9]

一种基于穆勒矩阵建模求解的后焦面椭偏测量方法 [P].

刘世元 ;

徐起 ;

王健 ;

彭立华 ;

贾天琪 .

中国专利 :CN120253699A ,2025-07-04

[10]

一种基于椭偏仪的薄膜温度测量方法 [P].

张荣君 ;

郑玉祥 ;

陈良尧 ;

张帆 ;

林崴 ;

耿阳 ;

卢红亮 .

中国专利 :CN102507040B ,2012-06-20

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