共 50 条
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電子ビーム照射装置、描画装置及び検査装置[ja]
被引：0
申请号：
JP20190212486
申请日：
2019-11-25
公开(公告)号：
JP7356329B2
公开(公告)日：
2023-10-04
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
H01J37/06
IPC分类号：
G03F7/20
G21K5/04
H01J37/305
H01L21/027
H01L21/66
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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