一种磁控溅射用高致密钌铬合金靶材及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411106859.0

申请日：

2024-08-13

公开(公告)号：

CN118996182A

公开(公告)日：

2024-11-22

发明(设计)人：

陈静洪闻明赵琪巢云秀施晨琦王传军沈月许彦亭李治东

申请人：

云南贵金属实验室有限公司云南省贵金属新材料控股集团股份有限公司

申请人地址：

650106 云南省昆明市五华区高新技术开发区科技路988号

IPC主分类号：

C22C1/04

IPC分类号：

B22F3/105 B22F9/04 B22F1/142 B22F3/14 C22C5/04 C22C27/06 C23C14/35

代理机构：

昆明隆合知识产权代理事务所(普通合伙) 53220

代理人：

龙燕

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

河北省保定市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-10	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C22C 1/04申请日:20240813
2024-11-22	公开	公开

共 50 条

[1]

一种超高致密细晶粒钌钽合金靶材及其制备方法 [P].

巢云秀 ;

陈静洪 ;

闻明 ;

施晨琦 ;

赵琪 ;

唐可 ;

王传军 ;

刘子其 ;

许彦亭 ;

沈月 .

中国专利 :CN119216579A ,2024-12-31

[2]

一种超细晶钌铬合金靶材及其制备方法 [P].

陈静洪 ;

闻明 ;

巢云秀 ;

施晨琦 ;

赵琪 ;

王传军 ;

沈月 ;

许彦亭 ;

李治东 .

中国专利 :CN119020627A ,2024-11-26

[3]

磁控溅射用高致密度BNT靶材的制备方法 [P].

李玲霞 ;

郑浩然 ;

孙正 ;

罗伟嘉 ;

于仕辉 .

中国专利 :CN105060883A ,2015-11-18

[4]

一种高致密度铝钛合金靶材的制备方法 [P].

边逸军 ;

姚力军 ;

张怡忠 ;

吴东青 .

中国专利 :CN120989563A ,2025-11-21

[5]

一种钽钌合金靶材及其制备方法 [P].

邵玲 ;

王广欣 ;

赵学义 .

中国专利 :CN104226999A ,2014-12-24

[6]

一种高致密铬合金靶材的生产方法 [P].

钟小亮 ;

王广欣 ;

王树森 .

中国专利 :CN102978576A ,2013-03-20

[7]

一种低氧高致密度细晶粒钌靶材及其制备方法 [P].

丁照崇 ;

姜传宁 ;

范宁 ;

何金江 ;

贾倩 ;

杨鹏 .

中国专利 :CN120843871A ,2025-10-28

[8]

一种高致密铬钨合金靶材的制备方法 [P].

张路长 ;

张凤戈 ;

郝权 ;

姜海 ;

唐培新 ;

何向晖 ;

赵雷 ;

缪磊 .

中国专利 :CN105364074A ,2016-03-02

[9]

钛铝铬合金靶材及其制备方法 [P].

王铁军 ;

唐培新 ;

张路长 ;

孙继洲 ;

郝权 ;

赵雷 ;

何向晖 .

中国专利 :CN104419847A ,2015-03-18

[10]

一种高致密铬钨合金靶材的制备方法 [P].

张凤戈 ;

姚伟 ;

姜海 ;

张路长 ;

唐培新 ;

何向晖 ;

郝权 ;

赵雷 ;

孙继洲 .

中国专利 :CN105345007A ,2016-02-24

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