共 50 条
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金属配線における拡散層[ja]
被引：0
申请号：
JP20240516434
申请日：
2022-09-09
公开(公告)号：
JP2024535232A
公开(公告)日：
2024-09-30
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C18/42
IPC分类号：
C23C18/31
H01L21/3205
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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