一种石英舟开槽装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323593467.5

申请日：

2023-12-27

公开(公告)号：

CN222004013U

公开(公告)日：

2024-11-15

发明(设计)人：

熊丽

申请人：

沈阳佳泽半导体材料有限公司

申请人地址：

110000 辽宁省沈阳市沈阳经济技术开发区开发二十六号路1-2号

IPC主分类号：

B28D1/24

IPC分类号：

B28D7/04 B28D7/00

代理机构：

沈阳工匠智诚知识产权代理事务所(普通合伙) 21256

代理人：

孙楠

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种石英舟槽棒的开槽装置及其开槽工艺 [P].

陈佳宇 ;

周文华 ;

姚禄辉 .

中国专利 :CN117817869B ,2024-06-11

[2]

一种石英舟槽棒的开槽装置及其开槽工艺 [P].

陈佳宇 ;

周文华 ;

姚禄辉 .

中国专利 :CN117817869A ,2024-04-05

[3]

一种石英舟研磨装置 [P].

许冬华 ;

蔡彬 ;

祝果胜 ;

王飞华 .

中国专利 :CN222200128U ,2024-12-20

[4]

一种石英舟生产用装置、石英舟的加工方法以及石英舟 [P].

张忠恕 ;

陈强 ;

张娟 ;

周洁 ;

冯继瑶 ;

于洋 ;

边占宁 ;

王志刚 ;

张连兴 ;

赵晓亮 ;

李翔星 ;

卢亮 .

中国专利 :CN116512045B ,2025-11-18

[5]

一种石英舟 [P].

陈海燕 ;

邓伟伟 ;

蒋方丹 .

中国专利 :CN210516688U ,2020-05-12

[6]

一种石英舟翻转装置 [P].

张宇 ;

代威 ;

郭立 .

中国专利 :CN216980532U ,2022-07-15

[7]

一种石英舟清洗装置 [P].

熊丽 .

中国专利 :CN221657430U ,2024-09-06

[8]

石英舟及其石英舟组件 [P].

周福龙 ;

李刚 ;

吕飞 ;

许洪玉 .

中国专利 :CN206349345U ,2017-07-21

[9]

一种石英舟槽棒开槽的固定治具 [P].

熊丽 .

中国专利 :CN221736711U ,2024-09-20

[10]

石英长舟的槽棒开槽装置 [P].

张彩根 .

中国专利 :CN210061633U ,2020-02-14

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