一种MEMS晶圆真空贴膜装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420630618.5

申请日：

2024-03-29

公开(公告)号：

CN221954654U

公开(公告)日：

2024-11-05

发明(设计)人：

王莹

申请人：

西安英孚瑞科技有限公司

申请人地址：

710000 陕西省西安市沣东新城天章二路223号普洛斯西安沣东产业园B2栋1层

IPC主分类号：

B65B33/02

IPC分类号：

B81C1/00

代理机构：

西安泛想力专利代理事务所(普通合伙) 61260

代理人：

张梅娟

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种TAIKO晶圆真空贴膜装置及方法 [P].

王孝军 ;

袁泉 ;

范亚飞 ;

牛作艳 ;

杨晓岗 ;

陈志平 .

中国专利 :CN118692959A ,2024-09-24

[2]

一种TAIKO晶圆真空贴膜装置及方法 [P].

王孝军 ;

袁泉 ;

范亚飞 ;

牛作艳 ;

杨晓岗 ;

陈志平 .

中国专利 :CN118692959B ,2024-11-08

[3]

一种真空贴膜装置 [P].

王杰 ;

竹颖丽 .

中国专利 :CN218429969U ,2023-02-03

[4]

一种真空贴膜装置 [P].

张景南 ;

陈明展 .

中国专利 :CN223546553U ,2025-11-14

[5]

一种贴膜机的真空贴膜装置 [P].

刘鸣 ;

董梁 .

中国专利 :CN212288737U ,2021-01-05

[6]

一种晶圆真空加热装置 [P].

陈炯 ;

孙蒿泉 ;

卢合强 ;

王辉 ;

夏世伟 ;

沈斌 ;

张劲 ;

高国珺 ;

翟军明 ;

李强强 ;

贾礼宾 .

中国专利 :CN217158134U ,2022-08-09

[7]

一种真空贴膜夹具和真空贴膜装置 [P].

倪烨 ;

孟腾飞 ;

徐浩 ;

何志新 .

中国专利 :CN215377367U ,2021-12-31

[8]

一种晶圆非接触真空贴膜装置 [P].

郭易 ;

周鹏程 ;

刘乾峰 .

中国专利 :CN222637238U ,2025-03-18

[9]

一种真空贴膜机 [P].

廖重义 .

中国专利 :CN205952403U ,2017-02-15

[10]

一种真空贴膜装置 [P].

周野 ;

陈永星 ;

夏城源 ;

游润松 .

中国专利 :CN208993084U ,2019-06-18

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