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抽真空装置、镀膜设备以及抽真空方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410999506.1
申请日：
2024-07-24
公开(公告)号：
CN118932310A
公开(公告)日：
2024-11-12
发明(设计)人：
刘洋
申请人：
乐金显示光电科技（中国）有限公司
申请人地址：
510530 广东省广州市高新技术产业开发区科学城开泰大道59号
IPC主分类号：
C23C14/56
IPC分类号：
C23C14/34
C23C14/54
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
杨亚茹
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
河北省
保定市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-11-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/56申请日:20240724 |
| 2024-11-12 | 公开 | 公开 |