用于压印光刻的质量控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380029416.3

申请日：

2023-03-15

公开(公告)号：

CN118974651A

公开(公告)日：

2024-11-15

发明(设计)人：

R·范布拉克尔 M·A·维尔斯储雷恩

申请人：

皇家飞利浦有限公司

申请人地址：

荷兰艾恩德霍芬

IPC主分类号：

G03F7/00

IPC分类号：

B82Y40/00 G06T7/00 B29C43/58

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

孟杰雄

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-15	公开	公开
2025-04-11	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/00申请日:20230315

共 50 条

[1]

质量控制系统、质量控制装置以及质量控制方法 [P].

里永哲一 ;

高野昌泰 ;

松田典之 ;

濑田昭子 ;

足立康二 ;

安川薰 .

中国专利 :CN101794106B ,2010-08-04

[2]

用于验光测量的质量控制方法 [P].

A·阿达迪 ;

M-A·贝尔特泽纳 ;

I·普兰 ;

C·帕蒂加纳德 ;

L·勒夫罗 ;

S·加亚 ;

F·迪沃 ;

B·卢梭 .

中国专利 :CN105705984A ,2016-06-22

[3]

地枫皮的质量控制方法 [P].

潘争红 ;

宁德生 ;

黄思思 ;

李典鹏 ;

唐辉 .

中国专利 :CN105334273A ,2016-02-17

[4]

干姜的质量控制方法 [P].

严辉 ;

李鹏辉 ;

郭盛 ;

包贝华 ;

彭国平 ;

黄胜良 ;

汪国强 .

中国专利 :CN109298089A ,2019-02-01

[5]

用于包装生产机的质量控制方法 [P].

M·贝利诺 .

中国专利 :CN103124631A ,2013-05-29

[6]

西瓜质量控制方法 [P].

朱龙舟 .

中国专利 :CN101292597A ,2008-10-29

[7]

香薷质量控制方法 [P].

张瑞祥 ;

仝燕 ;

刘建勋 ;

李彩熙 .

中国专利 :CN100347539C ,2005-10-12

[8]

生产质量控制方法 [P].

周劲锋 ;

李文革 ;

王美锋 .

中国专利 :CN103745312A ,2014-04-23

[9]

业务质量控制方法 [P].

王洁 .

中国专利 :CN1700667A ,2005-11-23

[10]

样张质量控制方法 [P].

K·富克森塔勒尔 ;

M·施奈德 .

中国专利 :CN104553304B ,2015-04-29

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