气体流量控制方法及装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310412845.0

申请日：

2023-04-12

公开(公告)号：

CN118866734A

公开(公告)日：

2024-10-29

发明(设计)人：

吴一帆高正彦

申请人：

长鑫存储技术有限公司

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/311 H01J37/32

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20230412
2024-10-29	公开	公开

共 50 条

[1]

一种气体流量控制装置及其气体流量控制方法 [P].

魏强 .

中国专利 :CN108231620A ,2018-06-29

[2]

气体流量控制方法 [P].

张业华 .

中国专利 :CN106774468A ,2017-05-31

[3]

气体流量调节装置及质量流量控制器 [P].

杜井庆 ;

何漫丽 ;

苏乾益 .

中国专利 :CN111365484A ,2020-07-03

[4]

气体流量调节装置及质量流量控制器 [P].

杜井庆 ;

何漫丽 ;

苏乾益 .

中国专利 :CN110735930A ,2020-01-31

[5]

气体流量控制 [P].

H-J·施卢特 .

中国专利 :CN106353520A ,2017-01-25

[6]

气体流量调节装置及质量流量控制器 [P].

杜井庆 ;

何漫丽 ;

苏乾益 .

中国专利 :CN208982662U ,2019-06-14

[7]

微小流量气体质量流量控制器及控制方法 [P].

朱天一 ;

张文申 ;

孙文慧 ;

张符 ;

许峰 ;

荀其宁 ;

刘霞 ;

侯倩倩 ;

宋磊 ;

董雅卓 ;

李胜凯 .

中国专利 :CN115047918A ,2022-09-13

[8]

气体流量控制系统及方法 [P].

邹博文 ;

吕强 ;

吉喆 ;

付明亮 ;

张龙平 .

中国专利 :CN118276609A ,2024-07-02

[9]

气体流量控制系统及方法 [P].

邹博文 ;

吕强 ;

吉喆 ;

付明亮 ;

张龙平 .

中国专利 :CN118276609B ,2024-08-30

[10]

气体流量控制及检测装置 [P].

马浩 .

中国专利 :CN216668823U ,2022-06-03

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