晶圆清洗机（槽式）

被引：0

专利类型：

外观设计

申请号：

CN202430142433.5

申请日：

2024-03-19

公开(公告)号：

CN308952908S

公开(公告)日：

2024-11-19

发明(设计)人：

吴俊冉汤敏涛

申请人：

上海普达特半导体设备有限公司普达特半导体设备（徐州）有限公司

申请人地址：

200120 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区张东路1387号33幢101室

IPC主分类号：

15-05

IPC分类号：

代理机构：

上海光华专利事务所(普通合伙) 31219

代理人：

卢杰

法律状态：

授权

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-19	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆清洗机 [P].

李响 ;

郑云龙 ;

李檀 .

中国专利 :CN307811736S ,2023-01-24

[2]

晶圆清洗机（四腔） [P].

刘盛 ;

尹建刚 ;

巫礼杰 ;

仰瑞 ;

文洪 ;

陆育梃 ;

王金生 ;

龙小详 ;

高云峰 .

中国专利 :CN307769634S ,2023-01-03

[3]

晶圆清洗机 [P].

廖招军 ;

于飞 ;

张智广 ;

吴鹏飞 ;

陈浩 .

中国专利 :CN307370268S ,2022-05-27

[4]

晶圆清洗机 [P].

杨再林 ;

舒雄 .

中国专利 :CN303226192S ,2015-05-27

[5]

晶圆清洗机 [P].

刘盛 ;

巫礼杰 ;

童灿钊 ;

李迁 ;

刘航 ;

赵冬冬 ;

刘佳鑫 ;

高云峰 .

中国专利 :CN307266977S ,2022-04-15

[6]

一种半导体晶圆槽式清洗机 [P].

杨仕品 ;

孙先淼 ;

华斌 .

中国专利 :CN114602873B ,2022-06-10

[7]

一种半导体晶圆槽式清洗机 [P].

张霖芝 ;

眭朝萍 ;

田帅 .

中国专利 :CN218360942U ,2023-01-24

[8]

一种半导体晶圆槽式清洗机用自动清洗槽 [P].

华斌 ;

孙先淼 .

中国专利 :CN114308842B ,2022-04-12

[9]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN215656627U ,2022-01-28

[10]

晶圆清洗机 [P].

张杭军 ;

张江水 ;

王凯 ;

靳韶波 ;

刘明潇 ;

赵文杰 .

中国专利 :CN120325616B ,2025-09-12

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