一种激光直写曝光机光源

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410817832.6

申请日：

2024-06-24

公开(公告)号：

CN118409477B

公开(公告)日：

2024-11-12

发明(设计)人：

庞超群谭军朱晓春顾海霞

申请人：

张家港奇点光电科技有限公司

申请人地址：

215636 江苏省苏州市张家港市大新镇新创路3号B栋403室

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257

代理人：

朱振德

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省苏州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-08-16	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20240624
2025-11-18	专利权质押登记、变更及注销	专利权质押登记IPC(主分类):G03F 7/20登记号:Y2025980048479登记日:20251103出质人:张家港奇点光电科技有限公司质权人:中国建设银行股份有限公司张家港分行发明名称:一种激光直写曝光机光源申请日:20240624授权公告日:20241112
2024-07-30	公开	公开
2024-11-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种激光直写曝光机光源 [P].

庞超群 ;

谭军 ;

朱晓春 ;

顾海霞 .

中国专利 :CN118409477A ,2024-07-30

[2]

激光直写曝光机 [P].

周来军 .

中国专利 :CN218068566U ,2022-12-16

[3]

一种激光直写曝光机的激光器及激光直写曝光机 [P].

肖燕青 ;

王方江 ;

陈海巍 ;

程珂 .

中国专利 :CN210954612U ,2020-07-07

[4]

激光直写曝光机外壳 [P].

成超 .

中国专利 :CN305166518S ,2019-05-17

[5]

一种用于激光直写曝光机的曝光平台 [P].

王历先 .

中国专利 :CN211669496U ,2020-10-13

[6]

无光罩激光直写曝光机 [P].

洪国书 ;

刘俊贤 ;

张明宏 ;

廖述政 .

中国专利 :CN108255021A ,2018-07-06

[7]

一种双台面激光直写曝光机 [P].

陆敏婷 .

中国专利 :CN205003441U ,2016-01-27

[8]

用于激光直写曝光机的光源控制方法及系统 [P].

李显杰 ;

何先福 ;

吴长江 ;

刘世林 .

中国专利 :CN116954034B ,2024-05-14

[9]

直写式曝光机光源系统 [P].

杨文 .

中国专利 :CN206270651U ,2017-06-20

[10]

一种不带有步进轴的激光直写曝光机 [P].

俞庆平 .

中国专利 :CN108062008A ,2018-05-22

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