一种电容式薄膜真空计

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411209314.2

申请日：

2024-08-30

公开(公告)号：

CN119104218A

公开(公告)日：

2024-12-10

发明(设计)人：

郜晨希张心强徐亚辉林琳孙小孟闫明张沙刘瑞琪郑旭苏涛李超波

申请人：

中国科学院微电子研究所

申请人地址：

100020 北京市朝阳区北土城西路3号

IPC主分类号：

G01L21/00

IPC分类号：

代理机构：

北京中强智尚知识产权代理有限公司 11448

代理人：

聂欣

法律状态：

公开

国省代码：

北京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-10	公开	公开
2024-12-27	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01L 21/00申请日:20240830

共 50 条

[1]

电容式薄膜真空计 [P].

胡显浪 ;

肖四哲 ;

庞爱锁 ;

张武 .

中国专利 :CN222087203U ,2024-11-29

[2]

一种电容式薄膜真空计 [P].

朱泓 ;

唐云剑 .

中国专利 :CN209470807U ,2019-10-08

[3]

一种电容式薄膜真空计 [P].

成祥 ;

苏和平 ;

张燕斌 ;

石宝玉 .

中国专利 :CN223154425U ,2025-07-25

[4]

一种电容式薄膜真空计 [P].

朱泓 ;

唐云剑 .

中国专利 :CN109813492A ,2019-05-28

[5]

一种电容式薄膜真空计 [P].

林辉 .

中国专利 :CN118730388A ,2024-10-01

[6]

一种电容式薄膜真空计 [P].

林辉 .

中国专利 :CN118980451A ,2024-11-19

[7]

电容式薄膜真空计检测装置、真空计及检测方法 [P].

王松杰 ;

廖兴才 ;

林立男 ;

汤一 ;

闫冉 ;

王杰 ;

宋冬谊 ;

唐嫒尧 ;

高乐 .

中国专利 :CN115031896B ,2024-06-07

[8]

电容式薄膜真空计检测装置、真空计及检测方法 [P].

王松杰 ;

廖兴才 ;

林立男 ;

汤一 ;

闫冉 ;

王杰 ;

宋冬谊 ;

唐嫒尧 ;

高乐 .

中国专利 :CN115031896A ,2022-09-09

[9]

电容薄膜真空计 [P].

刘公超 ;

潘雨默 ;

刘旭强 ;

陶硕 ;

林立男 ;

闫冉 .

中国专利 :CN118624093A ,2024-09-10

[10]

电容薄膜真空计 [P].

王晓利 ;

赵胜义 ;

王育才 .

中国专利 :CN308854823S ,2024-09-24

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