废气处理装置及半导体废气处理系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323456330.5

申请日：

2023-12-18

公开(公告)号：

CN222076285U

公开(公告)日：

2024-11-29

发明(设计)人：

张坤

申请人：

北京京仪自动化装备技术股份有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区凉水河二街8号院14楼A座

IPC主分类号：

B01D53/78

IPC分类号：

B01D47/06 F28C3/06

代理机构：

北京路浩知识产权代理有限公司 11002

代理人：

朱惠惠

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-29	授权	授权

共 50 条

[1]

废气处理装置及废气处理系统 [P].

高亚平 ;

陈勇 ;

张秀金 .

中国专利 :CN207042176U ,2018-02-27

[2]

一种半导体废气处理装置及半导体废气处理系统 [P].

张坤 .

中国专利 :CN116159403B ,2025-02-21

[3]

废气处理装置及废气处理系统 [P].

宁吉 .

中国专利 :CN210448592U ,2020-05-05

[4]

废气处理装置及废气处理系统 [P].

宁吉 ;

于长青 .

中国专利 :CN210045030U ,2020-02-11

[5]

废气处理装置及废气处理系统 [P].

宁吉 ;

于长青 .

中国专利 :CN209997408U ,2020-01-31

[6]

反应装置及半导体废气处理系统 [P].

王松 .

中国专利 :CN115212820B ,2024-05-03

[7]

废气预处理装置以及废气处理系统 [P].

谢志成 ;

冯鸣凤 ;

赵宁 ;

于文双 ;

张媛 ;

陈伟 ;

韩雨薇 ;

王东 ;

吕明杰 ;

杨光 ;

郝雄飞 .

中国专利 :CN211189617U ,2020-08-07

[8]

废气处理反应装置及半导体废气处理系统 [P].

张坤 .

中国专利 :CN115350577B ,2024-02-02

[9]

废气处理反应装置及半导体废气处理系统 [P].

张坤 .

中国专利 :CN115350577A ,2022-11-18

[10]

废气处理装置及废气处理系统 [P].

冯凯 .

中国专利 :CN207856607U ,2018-09-14

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