曝光装置、曝光方法和物品制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410498719.6

申请日：

2024-04-24

公开(公告)号：

CN118838124A

公开(公告)日：

2024-10-25

发明(设计)人：

本岛顺一

申请人：

佳能株式会社

申请人地址：

日本东京都大田区下丸子3丁目30番2号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

北京怡丰知识产权代理有限公司 11293

代理人：

迟军;齐文文

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-16	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20240424
2024-10-25	公开	公开

共 50 条

[1]

曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

大阪升 .

中国专利 :CN110286562A ,2019-09-27

[2]

曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

铃木敢士 ;

八讲学 .

日本专利 :CN113759666B ,2024-09-13

[3]

曝光方法、曝光装置和物品制造方法 [P].

籔伸彦 .

中国专利 :CN105573064A ,2016-05-11

[4]

曝光装置、曝光方法和物品制造方法 [P].

铃木敢士 ;

八讲学 .

中国专利 :CN113759666A ,2021-12-07

[5]

曝光装置和物品制造方法 [P].

宫春隆文 .

中国专利 :CN110716395A ,2020-01-21

[6]

曝光装置、曝光方法和制造物品的方法 [P].

宫野皓贵 ;

小泉僚 ;

茂泉纯 ;

三上晃司 .

中国专利 :CN112130421A ,2020-12-25

[7]

曝光装置、曝光方法、决定方法和物品制造方法 [P].

八讲学 .

日本专利 :CN111948910B ,2024-08-13

[8]

曝光装置、曝光方法、决定方法和物品制造方法 [P].

八讲学 .

中国专利 :CN111948910A ,2020-11-17

[9]

曝光装置和物品制造方法 [P].

小泉僚 .

中国专利 :CN112015055A ,2020-12-01

[10]

曝光装置和物品制造方法 [P].

三上晃司 ;

繁延笃 .

中国专利 :CN111694225A ,2020-09-22

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