白色エッチング亀裂を低減するポリアルキレングリコール[ja]

被引:0
申请号
JP20230514879
申请日
2021-08-27
公开(公告)号
JP2023540975A
公开(公告)日
2023-09-27
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
C10M107/34
IPC分类号
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[6]
蒸着チャンバのためのシーリングエアロック[ja] [P]. 
日本专利 :JP2025529285A ,2025-09-04