フィルム状焼成材料、支持シート付フィルム状焼成材料、及び支持シート付フィルム状焼成材料の製造方法[ja]

被引:0
申请号
JP20230053470
申请日
2023-03-29
公开(公告)号
JP2024141681A
公开(公告)日
2024-10-10
发明(设计)人
NAKAYAMA SHUICHI NISHIDA TAKUO KIDA SATOSHI
申请人
LINTEC CORP
申请人地址
IPC主分类号
H01L21/52
IPC分类号
B22F1/00 B22F1/054 B22F1/102 H01L21/301
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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