一种光刻胶供给系统

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202323041193.9

申请日：

2023-11-09

公开(公告)号：

CN222117826U

公开(公告)日：

2024-12-06

发明(设计)人：

曹广亚

申请人：

江苏卓胜微电子股份有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市滨湖区建筑西路777号A3幢11层

IPC主分类号：

B65G1/137

IPC分类号：

B65G1/04 G06K7/10 G01F23/00 G08B21/24 G08B7/06 H04L67/12

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

甄蒙蒙

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省无锡市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种光刻胶供给装置和光刻胶涂布系统 [P].

杜景龙 ;

杨辉 ;

承小辉 ;

路朝华 .

中国专利 :CN205334053U ,2016-06-22

[2]

光刻胶供给装置 [P].

黄宗友 .

中国专利 :CN216894771U ,2022-07-05

[3]

光刻胶供给管路清洗系统 [P].

郭浩 .

中国专利 :CN209303378U ,2019-08-27

[4]

一种光刻胶供给装置 [P].

王必演 ;

刘厚鑫 .

中国专利 :CN115542670A ,2022-12-30

[5]

一种光刻胶烘烤装置 [P].

张怀宣 .

中国专利 :CN221039792U ,2024-05-28

[6]

一种光刻胶输送装置 [P].

林高弘 .

中国专利 :CN221686814U ,2024-09-10

[7]

一种光刻胶供给装置 [P].

罗启祥 ;

高梁 .

中国专利 :CN223742939U ,2025-12-30

[8]

光刻胶涂布装置 [P].

李明欣 ;

朱成云 ;

古哲安 ;

黄志凯 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208126101U ,2018-11-20

[9]

一种光刻系统及其光刻胶自动供给装置 [P].

金在植 ;

林锺吉 ;

张成根 .

中国专利 :CN218158724U ,2022-12-27

[10]

光刻胶回吸装置、光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114054287A ,2022-02-18

← 1 2 3 4 5 →