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レーザ光源装置およびレーザ光源装置の制御方法[ja]
被引:0
申请号
:
JP20210015443
申请日
:
2021-02-03
公开(公告)号
:
JP7575058B2
公开(公告)日
:
2024-10-29
发明(设计)人
:
申请人
:
申请人地址
:
IPC主分类号
:
H01S5/068
IPC分类号
:
G02F1/01
G02F1/37
代理机构
:
代理人
:
法律状态
:
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
共 50 条
[1]
レーザ光源の制御方法、レーザ光源装置、及び露光装置[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2006080513A1
,2008-06-19
[2]
レーザ光源装置およびレーザ光源装置の製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6811912B1
,2021-01-13
[3]
レーザー光源装置およびレーザー光源装置の製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2017145229A1
,2018-05-31
[4]
レーザー光源装置およびレーザー光源装置の製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6552710B2
,2019-07-31
[5]
レーザ光源装置およびレーザ光源装置の組み立て方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2016186048A1
,2017-11-02
[6]
MOPA方式レーザ光源装置およびMOPA方式レーザ制御方法[ja]
[P].
日本专利
:JP5918975B2
,2016-05-18
[7]
レーザ光源モジュールおよびレーザ光源装置[ja]
[P].
日本专利
:JP6272067B2
,2018-01-31
[8]
レーザ光源装置及びレーザ光源装置の製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JP6173303B2
,2017-08-02
[9]
レーザ光源装置及びレーザ光源装置の製造方法[ja]
[P].
日本专利
:JPWO2013146313A1
,2015-12-10
[10]
レーザ光源装置およびレーザ顕微鏡[ja]
[P].
日本专利
:JP6192280B2
,2017-09-06
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