冷却流路を有する光学素子、及び光学装置[ja]

被引:0
申请号
JP20240515858
申请日
2022-08-16
公开(公告)号
JP2024535801A
公开(公告)日
2024-10-02
发明(设计)人
申请人
申请人地址
IPC主分类号
G21K1/06
IPC分类号
G02B1/02 G03F7/20
代理机构
代理人
法律状态
国省代码
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共 50 条
[1]
光学素子及びそれを有する光学装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6103853B2 ,2017-03-29
[2]
光学素子および、それを有する光学装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP5804683B2 ,2015-11-04
[3]
変形可能な光学素子を有する光学装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP5960752B2 ,2016-08-02
[4]
変形可能な光学素子を有する光学装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6306095B2 ,2018-04-04
[5]
VUV放射線を反射する光学素子及び光学装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP2022510701A ,2022-01-27
[6]
[7]
光学素子及び光学素子を備えた光学装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP6685916B2 ,2020-04-22
[8]
光学素子及び光学素子を備えた光学装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP2017510842A ,2017-04-13
[9]
光学素子及びそれを備える光学装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP7604208B2 ,2024-12-23
[10]
光学素子及び光学装置[ja] [P]. 
日本专利 :JP5867510B2 ,2016-02-24