用于确定性能参数的指纹的方法和设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110018882.4

申请日：

2017-06-22

公开(公告)号：

CN112631086B

公开(公告)日：

2024-11-05

发明(设计)人：

L·M·A·范德洛格特 B·P·B·西哥斯 S·H·C·范格尔佩 C·C·M·卢伊滕 F·斯塔尔斯

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰维德霍温

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

H01L21/027

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

张启程

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-05	授权	授权

共 50 条

[1]

用于确定性能参数的指纹的方法和设备 [P].

L·M·A·范德洛格特 ;

B·P·B·西哥斯 ;

S·H·C·范格尔佩 ;

C·C·M·卢伊滕 ;

F·斯塔尔斯 .

中国专利 :CN109478021B ,2019-03-15

[2]

用于确定性能参数的指纹的方法和设备 [P].

L·M·A·范德洛格特 ;

B·P·B·西哥斯 ;

S·H·C·范格尔佩 ;

C·C·M·卢伊滕 ;

F·斯塔尔斯 .

中国专利 :CN112631086A ,2021-04-09

[3]

实时确定性能参数的方法 [P].

D-M·瓦尔坎 .

中国专利 :CN113574271A ,2021-10-29

[4]

实时确定性能参数的方法 [P].

D-M·瓦尔坎 .

:CN113574271B ,2024-05-03

[5]

确定性能参数分布的方法 [P].

V·巴斯塔尼 ;

R·M·S·诺普斯 ;

T·希尤维斯 ;

A·J·乌尔班奇克 ;

J·S·怀登伯格 ;

R·J·范维克 .

:CN118140179A ,2024-06-04

[6]

确定性能参数的方法及装置、电子设备和存储介质 [P].

张元瀚 ;

尹榛菲 ;

殷国君 ;

邵婧 .

中国专利 :CN111582381A ,2020-08-25

[7]

确定性能参数的方法及装置、电子设备和存储介质 [P].

张元瀚 ;

尹榛菲 ;

殷国君 ;

邵婧 .

中国专利 :CN111582381B ,2024-03-26

[8]

用于确定设备的运行性能参数的方法和系统 [P].

卢多维科·鲁加 ;

汤姆·迪里克斯 .

:CN117083215B ,2024-10-25

[9]

确定过程的性能参数的方法 [P].

G·R·圣圭内蒂 ;

M·博兹库尔特 ;

M·范德斯卡 ;

A·J·登鲍埃夫 .

中国专利 :CN110799905A ,2020-02-14

[10]

电机性能参数确定方法和装置 [P].

康皓宇 ;

马一鸣 ;

刘涛 ;

刘黎阳 ;

李泽泉 ;

赵航 .

中国专利 :CN119298755A ,2025-01-10

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