一种硅片扩散用石英舟激光清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202420367972.3

申请日：

2024-02-28

公开(公告)号：

CN221869579U

公开(公告)日：

2024-10-22

发明(设计)人：

李宏亮李洪陈学传丁峰程瑞文香炎

申请人：

江苏腾驰实业有限公司

申请人地址：

222000 江苏省连云港市东海县经济开发区黄河路110号

IPC主分类号：

B08B7/00

IPC分类号：

代理机构：

连云港润知专利代理事务所 32255

代理人：

王善民

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-22	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片扩散石英舟装卸机 [P].

董晓清 ;

凌勇 .

中国专利 :CN208157379U ,2018-11-27

[2]

用于硅片扩散的石英舟 [P].

陈文学 .

中国专利 :CN204029781U ,2014-12-17

[3]

太阳能硅片扩散用石英舟 [P].

王鸳君 ;

韩伟智 ;

刘春丽 ;

张红伟 ;

胡香玲 ;

郭天华 .

中国专利 :CN205303486U ,2016-06-08

[4]

石英舟运载装置和硅片扩散设备 [P].

戎帅 ;

王正奇 ;

付威 ;

胡亚男 .

中国专利 :CN203787403U ,2014-08-20

[5]

一种硅片的扩散的石英舟 [P].

汤芳 ;

常永喜 .

中国专利 :CN214193524U ,2021-09-14

[6]

一种用于硅片扩散的石英舟 [P].

朱亚文 ;

马勤明 .

中国专利 :CN214361841U ,2021-10-08

[7]

一种扩散石英舟清洗槽 [P].

蔡晓晨 ;

王敬蕊 .

中国专利 :CN202860906U ,2013-04-10

[8]

用于制作硅片的扩散石英舟 [P].

谢小磊 ;

姚桂华 ;

刘亮 ;

倪恩光 ;

徐永洋 ;

张克强 .

中国专利 :CN201788959U ,2011-04-06

[9]

一种扩散用石英舟 [P].

胡海平 ;

班群 ;

方结彬 ;

何达能 ;

陈刚 .

中国专利 :CN202940221U ,2013-05-15

[10]

一种扩散用石英舟 [P].

周公文 ;

勾宪芳 ;

魏文文 ;

高荣刚 ;

陈呈 ;

王鹏 ;

姜利凯 .

中国专利 :CN202183364U ,2012-04-04

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