基于数字孪生的半球形结构陀螺仪CMP抛光修正装置

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202411075204.1
申请日
2024-08-07
公开(公告)号
CN118848789A
公开(公告)日
2024-10-29
发明(设计)人
刘胜 李照东 陈超宇 汪启军 吴改 沈威 东芳 梁康
申请人
武汉大学
申请人地址
430072 湖北省武汉市武昌区八一路299号
IPC主分类号
B24B29/04
IPC分类号
B24B27/00 B24B51/00 B24B49/00 B24B47/12 B24B57/02
代理机构
武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222
代理人
郑勤振
法律状态
公开
国省代码
湖北省 武汉市
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共 50 条
[1]
基于数字孪生的半球形结构陀螺仪Ar离子抛光修正装置 [P]. 
刘胜 ;
李照东 ;
陈超宇 ;
汪启军 ;
吴改 ;
沈威 ;
东芳 ;
梁康 .
中国专利 :CN118848679A ,2024-10-29
[2]
基于数字孪生的半球形结构陀螺仪FIB抛光修正装置 [P]. 
刘胜 ;
李照东 ;
陈超宇 ;
汪启军 ;
吴改 ;
沈威 ;
东芳 ;
梁康 .
中国专利 :CN118951895A ,2024-11-15
[3]
基于数字孪生的半球形结构陀螺仪飞秒激光抛光修正装置 [P]. 
刘胜 ;
李照东 ;
陈超宇 ;
汪启军 ;
吴改 ;
沈威 ;
东芳 ;
梁康 .
中国专利 :CN118848254A ,2024-10-29
[4]
基于数字孪生的半球形结构陀螺仪磁流体抛光修正装置 [P]. 
刘胜 ;
李照东 ;
陈超宇 ;
汪启军 ;
吴改 ;
沈威 ;
东芳 ;
梁康 .
中国专利 :CN118848678A ,2024-10-29
[5]
面外压电式半球形微陀螺仪及其制备方法 [P]. 
张卫平 ;
唐健 ;
汪濙海 ;
刘亚东 ;
孙殿竣 ;
邢亚亮 ;
陈文元 .
中国专利 :CN104897146B ,2015-09-09
[6]
面外电磁式半球形微陀螺仪及其制备方法 [P]. 
张卫平 ;
唐健 ;
刘亚东 ;
汪濙海 ;
邢亚亮 ;
孙殿竣 ;
陈文元 .
中国专利 :CN105004334A ,2015-10-28
[7]
一种基于半球形壳体和光学环形谐振器的新型光机陀螺仪 [P]. 
黄勇军 ;
贾马哈森 ;
鲜承伟 ;
匡鹏举 ;
王茂源 ;
文光俊 .
中国专利 :CN118687549A ,2024-09-24
[8]
压电半球谐振微陀螺仪的数字控制检测系统 [P]. 
张卫平 ;
汪濙海 ;
孙殿竣 ;
唐健 ;
邢亚亮 ;
魏志方 .
中国专利 :CN105716596A ,2016-06-29
[9]
基于数字陀螺仪的门开关检测系统 [P]. 
刘柄鑫 .
中国专利 :CN111577059A ,2020-08-25
[10]
压电半球谐振微陀螺仪的数字信号处理系统 [P]. 
张卫平 ;
汪濙海 ;
欧彬 ;
唐健 ;
刘朝阳 ;
孙殿竣 ;
邢亚亮 ;
王晨阳 ;
崔峰 .
中国专利 :CN106017450A ,2016-10-12