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金属表面上の金属酸化物の選択的堆積[ja]
被引：0
申请号：
JP20200070516
申请日：
2020-04-09
公开(公告)号：
JP7523936B2
公开(公告)日：
2024-07-29
发明(设计)人：
申请人：
申请人地址：
IPC主分类号：
C23C16/04
IPC分类号：
C23C16/40
H01L21/31
H01L21/316
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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