提高特征尺寸一致性的湿法蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380023785.1

申请日：

2023-05-22

公开(公告)号：

CN118872031A

公开(公告)日：

2024-10-29

发明(设计)人：

王志远邱宗钰唐磊周颜

申请人：

北京时代全芯存储技术股份有限公司

申请人地址：

100094 北京市海淀区丰豪东路9号院中关村集成电路设计园2D座802

IPC主分类号：

H01L21/306

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-20	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移IPC(主分类):H01L 21/306登记生效日:20241209变更事项:申请人变更前权利人:北京时代全芯存储技术股份有限公司变更后权利人:北京时代全芯存储技术股份有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:100094 北京市海淀区丰豪东路9号院中关村集成电路设计园2D座802变更后权利人:100088 北京市海淀区西土城路1号院6号楼4层405变更事项:申请人变更后权利人:北京时代全芯存储科技有限公司变更事项:国家或地区变更后权利人:中国
2024-10-29	公开	公开
2024-11-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/306申请日:20230522

共 50 条

[1]

一种提高钽芯尺寸一致性的烧结方法 [P].

董桂秀 ;

方常祥 ;

李伟 ;

郑世松 ;

张勇 ;

艾文娟 .

中国专利 :CN120497049A ,2025-08-15

[2]

一种提高烧结钕铁硼尺寸一致性的制备方法 [P].

刘鹏硕 ;

王寒冰 ;

张斌洪 ;

何超华 ;

于超 ;

曾基灵 ;

王楠 ;

冯晓宇 .

中国专利 :CN119296944A ,2025-01-10

[3]

电芯尺寸一致性的分选机 [P].

周杰 ;

衡晓简 ;

李桂洪 .

中国专利 :CN222984962U ,2025-06-17

[4]

改进微距一致性的方法 [P].

徐义裕 ;

王国镇 ;

邵耀亭 .

中国专利 :CN1447385A ,2003-10-08

[5]

改善临界尺寸一致性的方法与系统 [P].

陆埼达 ;

蔡启铭 .

中国专利 :CN110824831A ,2020-02-21

[6]

提升耗尽管性能一致性的方法 [P].

许超 ;

钱江勇 ;

陈杰 ;

王德鑫 .

中国专利 :CN121152270A ,2025-12-16

[7]

VR交互数据尺寸一致性调节的方法和装置 [P].

廖裕民 ;

卢捷 .

中国专利 :CN107330855A ,2017-11-07

[8]

特征尺寸一致性分析方法及装置、计算机可读存储介质 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN114241048B ,2024-01-26

[9]

特征尺寸一致性分析方法及装置、计算机可读存储介质 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN114241048A ,2022-03-25

[10]

一种改善焊盘尺寸一致性的工艺方法 [P].

文国堂 ;

黄勇 ;

贺波 .

中国专利 :CN106658978A ,2017-05-10

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